Mikroelektronik und Mikromechanik

Häufig werden Fuktionsfehler und Störungungen Mirkoelektronischer oder Mikromechanischer Produkte durch Stäube oder kleinste, luftgetragene Partikel während der produktionsphase verursacht.

Abhilfe schaffen hier Reinraumlösungen. Häufig wird hier der sogenannte Laminar Air Flow verwendet.Durch diese Luftströmung wird verhindert, dass Partikel an den Produkten haften bleiben. Somit kann eine einwandfreie Funktionsfähigkeit des fertigen Produkts gewährleistet werden.

Wichtige Normen und Richtlinien:

sind u.a.:

  • DIN EN ISO 14644
  • VDI 2083
  • SEMI Standards
  • IES Recommended Practieces
  • Weitere Spezialstandards z.B. ANSI/ESD S20.10-2007